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所以马从明和胡兴对此感到奇怪很正常。

想获得波长较短的极紫外光源, 要采用的办法是将二氧化碳高功率激光脉冲照射在直径极小的锡滴液靶材上，激发出高功率的等离子体，来作为光刻机的光源。

整个光源系统需要高功率激光器，聚焦和位置控制的真空容器，液滴发生器收集器和计量模块等装置。

其中最关键的技术就是预脉冲，和在高频下产生极小且稳定的锡液滴。

再加上关乎光源装置使用寿命的收集器，难度确实让人无法想象。

可对于已经掌握了全部核心技术的徐磊来讲，想要制造出能够满足这些要求的装置，并不是什么太困难的问题。

面对这种情况，增加科研人员的数量显然是不可能的。

不过为了让他们两个人安心配合自己的工作，最终徐磊还是多说了几句。

“你们担心的问题我都清楚，但我既然敢做出这种人员安排，肯定是有原因在的。”

“相信我。”

“用不了多长时间，你们就会看到成熟的极紫外光源发射系统。”

话音刚落。

徐磊便转身朝工作台走去，显然不想在这个问题上再多费口舌。

听到这番话，马从明和胡兴两人先是相互看了一眼，然后和徐磊一样径直走向工作台。

因为他们虽然担心在光源上的研发会赶不上其他人的进度，可也不想被调离研发项目, 毕竟徐磊不管怎么说都是项目的负责人，有权利对开发人员的增减调动做出调整。

反正在他们看来，等到徐磊在光源系统上的研究陷入瓶颈，肯定会主动改变。

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……

相比之前处理公司上的业务，沉下心来进行技术研究，徐磊明显感觉到时间流逝的速度似乎更快。

转眼便过去了十多天。

而在这些天里，徐磊在马从明胡兴两个人的辅助下，终于完成了激光器的组装。

虽说这只是整个光源系统中的其中一件装置，但代表的意义却不一样。

标志着他们成功迈出了第一步。

但要想将激光器应用到光源系统中，还需要先对其功率波长以及寿命进行测试，确保它能够满足顶级光刻机的需求。

“徐工，激光器已经准备妥当，可以开始测试了。”

这天上午。

光源实验室内。

当马从明把这台激光器安装调试完毕后，立刻开口对徐磊进行汇报。

言语中能够听出略显激动的情绪。

主要组装这台激光器他们也多少出了份力，虽然不太相信测试数据能达到海外水平，但身为科研人员在这种时候总是难以控制心底的那份兴奋。

当然。

相比他们两个人，徐磊明显平静许多。

看到马从明已经准备妥当，随即下达了开始测试的命令。

“开始吧。”

说完还不忘对胡兴吩咐道：“胡兴，注意做好各项数据分析。”

“放心吧 『加入书签，方便阅读』
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